Technology (28) 썸네일형 리스트형 [노볼락의 응용]I-line 포토레지스트용 폴리머 1. I-line 포토레지스트용 수지 I-line 포토레지스트는 365nm 파장의 리소그래피 공정에 사용되는 포토레지스트 입니다. 가장 큰 특징은 Novolac/DNQ의 용해도 변화 입니다. 알칼리 용액에 불용성인 DNQ가 novolac 수지에 혼합되면, 전체 혼합물은 알칼리 용액에 용해도가 떨어집니다. 하지만 노광 후 DNQ가 carboxylic acid로 변하면 용해되는 메커니즘입니다. ※I-line 포토레지스트의 구성성분과 메커니즘이 궁금하시면 참고 해주세요 https://2zyo1011.tistory.com/14 UP수지와 유리섬유강화 플라스틱 1. UPR - Undaturated polyester resin 폴리에스테르 구조에 불포화 이중결합을 갖고있는 고분자를 '불포화 폴리에스테르'라고 합니다. 이 고분자를 styrene 용액에 50~70wt%로 용해시키면, 점도 100~2000cp범위로 유동성을 갖는 '불포화 폴리에스테르 수지'가 됩니다. UPR은 과산화물의 존재하에서 라디칼 중합을 통해 가교구조를 형성하며 열경화성 고분자가 됩니다. 이런 특성은 성형성이 우수하다는 특징으로 나타납니다. 고분자로 특정한 모양을 만든다는 것, 일반적으로 성형공정이라고 지칭합니다. 그런데 딱딱하게 굳어있는 고분자를 특정한 모양으로 만들기는 쉽지 않습니다. 예를들어 물은 얼음 틀에 따라서 다양한 모양으로 얼릴 수 있습니다. 정육면체, 구, 별 모양 등 틀안에 물.. 불포화폴리에스테르 수지의 반응과 특징 1. 불포화 폴리에스테르 수지(Unsaturated polyester resin) 1) 정의 - 불포화 폴리에스테르 불포화 폴리에스테르는, 불포화결합(C=C)을 분자구조 내에 가지고 있는 폴리에스테르 고분자입니다. - 불포화 폴리에스테르 수지 불포화 폴리에스테르 수지는, 불포화 폴리에스테르를 styrene에 용해시킨 액상의 고분자 용액입니다. 2) 특징 - 열경화성 고분자 불포화폴리에스테르 고분자 내에 남아있는 불포화 결합은 추가적인 라디칼 반응을 가능하게 만들어 줍니다. solvent로 사용된 반응성 모노머(styrene)와 라디칼 반응을 통해 가교구조를 갖는 열경화성 고분자로 됩니다. - 구조적 특징 일반적인 폴리에스테르와 동일하게 dicarboxylic acid와 dialcohol(glycol)의 .. ArF(Dry) 포토레지스트 개념과 구조(Positive) 1. ArF 포토레지스트 반도체기술은 항상 미세화를 위해 개선되고 있습니다. 이전의 KrF(248nm) 포토레지스트에서 더 얇은 회로선폭, 고집적화를 이루기 위한 포토레지스트 파장의 변화는 ArF(193nm)로 옮겨갔습니다. 아래의 그림 처럼 패턴의 미세화를 위해서 "리소그래피 공정 파장"을 작게 하고 있습니다. Rayleigh 식에 따라서 패턴의 해상도는 공정파장에 비례하기 때문입니다. ArF laser는 193nm의 파장을 가지는 빛입니다. 다른 파장의 포토레지스트와 마찬가지로 "ArF 포토레지스트"라고 해당 파장으로 부릅니다. 2. ArF 포토레지스트의 특징 포토레지스트는 리소그래피 공정 파장에서 흡광도가 낮아야 됩니다. 모든 포토레지스트 폴리머가 가져야 될 특징입니다. 포토레지스트가 흡광도가 있으.. 말단기 분석법으로 고분자 분자량 계산하기 1. 말단기 분석법의 정의 1) 고분자의 말단에 남아있는 반응 사이트로 부터 고분자의 분자량을 계산하는 방법입니다 2) 일반적으로 선형 고분자에서 말단기가 (-OH) 또는 (-COOH)로 끝나는 고분자의 분자량을 실험적으로 계산할 때 사용됩니다. 3) 아래의 식에 따라서 수평균 분자량(Mn)을 실험적으로 계산할 수 있습니다 - 수평균 분자량은 아래의 수식으로 표현될 수 있습니다. - 수식을 정리하면, 고분자 시료의 전체 무게(g)를 고분자의 몰수(mol)로 나눠주면 수평균 분자량(Mn)을 얻을 수 있습니다. - 말단기 정량법은 실험적인 방법입니다. 시료 몇 g을 정량하는지는 당연히 알 수 있습니다. 최종 적정을 통해 몰 수만 알아내면 계산은 간단하게 끝납니다. 2. 말단기 분석법 계산 예시 1) 폴리에스.. 고분자의 수평균 분자량(Mn)과 중량평균 분자량(Mw) 1. 고분자의 분자량 일반적인 단분자와 달리 고분자의 분자량은 분포를 가집니다. 모노머가 반응하는 정도에 따라서 사슬의 길이가 달라지기 때문입니다. 따라서 고분자의 분자량을 얘기할 때는 "평균 분자량"을 이용합니다. 고분자의 GPC 분석결과를 예시로 들었습니다. 그래프의 x축이 작을수록 분자량이 큰 고분자이고, x축이 큰 부분은 작은 분자량입니다. GPC 컬럼에서 분자량이 큰 물질이 먼저 나오기 때문입니다. 2. 평균 분자량 1) 수평균 분자량(Number average molar mass) - 고분자의 각 사슬이 가지는 몰 질량(Mi)과 몰 분율(Xi)을 곱한 것의 합계입니다. - 수평균 분자량의 정의에 따라 평균 분자량은 고분자 각 사슬의 '몰 질량'과 '몰 분율'에 영향을 받습니다. - 큰 분자량이.. [축합중합]폴리에스테르의 특징과 PET의 반응 1. 폴리에스테르(polyester) 1) 특징 - 분자의 구조에 (-R-COO-R-)에스테르 결합을 반복단위로 갖고있는 고분자가 폴리에스테르 입니다 - 폴리에스테르는 다가산(diacid)와 다가 알코올(diol)이 반응하여 생성되는 폴리머입니다. 2) 폴리에스테르 반응 예시 - PET(polyethylene terephtahlate) a. 모노머 -가장 대표적인 폴리에스터의 예시로 PET(polyethylene terephthalte)가 있습니다. -모노머는 에틸렌 글리콜과 테레프탈산이 사용됩니다. b. 반응 Scheme (A) Terephthalic acid는 Acid 촉매 존재하에서 carbon cation을 형성합니다. Diol에 있는 Oxyzen원자로 부터 nucliophilic addition.. 축합중합의 특징 및 반응 1. 축합중합(Polycondensation) 정의 1) 반응 특징에 따른 정의 - 단계중합에서 작은 분자들이 제거되는 반응을 축합중합이라고 합니다. - 모노머들이 반응 시 작은 분자(물 또는 알코올)가 제거되면서 고분자가 됩니다. 2) 축합 중합의 예시 - Dicarboxyilic acid와 diol의 반응으로 polyester가 생성되는 반응도 축합 중합입니다. - 모노머의 반응으로 에스테르 결합(-COO-)이 생성되며, 물 분자가 제거됩니다. 2. 축합중합의 특징 1) 모노머 a. 이작용기(difuntional) 이상이 필요합니다. - 고분자 사슬을 꾸준하게 성장 시키려면 반응 후에도 작용기가 남아있어야 합니다. - Diol과 diacid은 각각 분자에 작용기가 두개씩 있습니다. 하나의 작용기가 서.. 이전 1 2 3 4 다음