etch resistance 예측 (1) 썸네일형 리스트형 Ohnishi parameter : polymer의 dry etch resistance 1. Ohnishi parameter Ohnishi 파라미터는 포토레지스트 폴리머의 dry etch rate의 속도를 가늠케 해주는 척도입니다. 수식으로는 아래와 같이 표현할 수 있습니다. 고분자의 구조에서 탄소 원자의 개수(Nc)와 산소 원자의 개수(No) 그리고 모든 원자의 개수(Ntotal)를 고려한 값입니다. Ohnishi parameter가 높은 경우에는 etch rate이 빠르며, 반대로 Ohnishi parameter가 낮은 경우에는 etch rate이 느립니다. 2. Ohnishi parameter와 etch rate의 상관관계 1983년 발표된 논문(H. Gokan et al.)에서 여러 가지 폴리머의 dry etch resistance에 대한 내용이 발표되었습니다. 논문의 내용은 다양한.. 이전 1 다음
