PAC PAG 차이점 (1) 썸네일형 리스트형 PAC과 PAG 무엇이 다를까? 1. PAC(Photo Acid Compound) 1) 정의 I-line 포토레지스트 Novolac/DNQ system에 사용되는 dissolution inhibitor입니다. Novolac 수지에 첨가된 경우 THAM에 대한 용해도를 낮게 만드는 특징이 있습니다. 노광 후에는 DNQ가 Acid로 구조가 변하면서 포토레지스트의 "용해도"를 컨트롤할 수 있게 해주는 역할을 합니다. ① Novolac → 현상액에 용해도 (중간) ② Novolac + PAC→ 현상액에 용해도 (매우 낮음) ③ Novolac + PAC + Light → 현상액에 용해도 (매우 높음) ※PAC : Diazonaphthoquinone(DNQ) 2) 사용용도 G-line(436nm) 또는 I-line(365nm) 파장에서 포지티브 .. 이전 1 다음
