포토레지스트 네거티브 (1) 썸네일형 리스트형 I-line 포토레지스트의 성분 및 반응(Negative) I-line 포토레지스트 요약 I-line 포토레지스트는 리소그래피 공정에서 사용하는 패터닝 소재입니다. 수은램프의 파장 365nm(I-line)를 사용하여 I-line 포토레지스트라고 명칭합니다. 지난 포스팅은 Positve포토레지스트의 성분과 반응에 대한 내용이었습니다. 이번 포스팅은 I-line 네거티브의 성분과 반응을 정리하겠습니다. Negative 포토레지스트 네거티브 포토레지스트는 노광된 부분에서 화학적 결합이 새로 생깁니다. 포지티브는 노볼락/DNQ 혼합물에서 DNQ의 화학적 변화로 현상액에 대한 용해도가 변하는 기술입니다. 포토레지스트에 있는 노볼락 폴리머는 반응하지 않죠. 반면 네거티브는 Crosslinking 반응이 핵심 기술입니다. 노볼락 수지와 가교제간의 결합이 현상액에 씻기지 않는.. 이전 1 다음
