포토공정 (1) 썸네일형 리스트형 [반도체]포토리소그래피 공정, 포토레지스트가 무엇인지 포토리소그래피(Photo-lithography) 공정이란? Litho(Stone) + graphia(write). 석판화 또는 우리에게 친숙한 고무판화 처럼, 그려놓은 그림을 계속 찍어내는 프린팅 기술입니다. 반도체 공정에서는 회로를 그려놓은 마스크(Mask)로 웨이퍼에 회로밑그림을 찍어냅니다. 판화는 잉크로 찍어내는데, 반도체 공정에서는 빛으로 찍어내서 포토리소그래피라고 부릅니다. 포토레지스트(Photoresist)란? 판화에서 잉크와 비슷한 것이 반도체에서는 포토레지스트 입니다. 포토레지스트는 빛에 의해 화학적 특성이 변하게 됩니다. 웨이퍼에 포토레지스트를 코팅한 다음, 빛을 조사해주면 아래와 같은 변화가 일어납니다. 이런 변화를 통해 웨이퍼에 원하는 밑그림을 그릴 수 있게해주는 소재입니다. Posi.. 이전 1 다음
